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CVD金刚石金刚石是自然界存在的特殊材料之一

CVD金刚石   金刚石是自然界存在的特殊材料之一,具有高的硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙、高的声传播速率以及良好的化学稳定性等,如表1所示。虽然天然金刚石具有这些的特性,但是它们一直仅仅是以宝石的形式存在,其性质的多变性和稀有性极大地限制了其应用。而金刚石膜将 这些优异的物理化学性能集一身,且成本较天然金刚石低,能够制备各种几何形状,在电子、光学、机械等工业领域有广泛的应用前景…
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